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INFICON石英晶片
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产品详情

INFICON石英晶振片
优质的石英晶体成就优质的薄膜
INFICON石英晶体质量一流、极为可靠,在各种类型的材料、应用和行业中已有超时数百万次工艺生产应用的成功例子。

100%测试及检验

阻抗,以保证测量的稳定性和更长涂层寿命。阻抗指标的粘附和电极的电接触。

频率,启始频率测在一个小规格范围内的验证,以确保精确的厚度测量。

曲率是进行一种电子测试,以确保共振稳定。使稳定性差的曲率测量结果迅速下降。

可视化整合,为确保最大的晶体寿命和稳定性,为每个晶体的电极一致性检查,表面缺陷,以及其它瑕疵,电极附着和污染。

频率:6MHz、5MHz

电极材料:镀金、镀银或合金

晶振片知识

什么是晶振片?

   薄薄圆圆的晶振片,来源于多面体石英棒,先被切成闪闪发光的六面体棒,再经过反复的切割和研磨,石英棒最终被做成一堆薄薄的(厚0.23mm,直径13.98mm)圆片,每个圆片经切边,抛光和清洗,最后镀上金属电极(正面全镀,背面镀上钥匙孔形),经过检测,包装就可以出厂使用。

 

然而,这样的小薄片是如何工作的?科学家最早发现一些晶体材料,如石英,经挤压就象电池可产生电流(俗称压电性),相反,如果一个电池接到压电晶体上,晶体就会压缩或伸展,如果将电流连续不断的快速开关,晶体就会振动。

在1950年,德国科学家GEORGE SAUERBREY研究发现,如果在晶体的表面上镀一层薄膜,则晶体的振动就会减弱,而且还发现这种振动或频率的减少,是由薄膜的厚度和密度决定的,利用非常精密的电子设备,每秒钟可能多次测试振动,从而实现对晶体镀膜厚度和邻近基体薄膜厚度的实时监控。从此,膜厚控制仪就诞生了。

如何选用最合适的晶振片?

   镀膜科技日新月异,对于镀膜工程师来说,如何根据不同的镀膜工艺选择最佳的晶振片确实不易。下面建议供大家参考:

1)镀低应力膜料时,选择镀金晶振片

   最常见的镀膜是镀Al、Au、Ag、Cu,这些膜层几乎没有应力,在室温下镀膜即可。膜层较软,易划伤,但不会裂开或对基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜,经验证明,可以在镀金晶振片镀60000埃金和50000埃银的厚度。

2)使用镀银或银铝合金镀高应力膜层

    Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢这些材料容易产生高应力,膜层容易从晶体基片上剥落或裂开,以致出现速率的突然跳跃或一系列速率的突然不规则正负变动。有时,这些情况可以容忍,但在一些情况下,会对蒸发源的功率控制有不良作用。

3)使用银铝合金晶振片镀介质光学膜

    MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光学透明区域或折射率特性,被广泛用于光学镀膜,但这些膜料也是最难监控的,只有基底温度大于200度时,这些膜层才会与基底有非常良好的结合力,所以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上,在膜层凝结过程会产生巨大的应力,容易使晶振片在1000埃以内就回失效。

   这时候,选用合金晶振片将是最好的选择,将大大减少调频机会。实验室显示,使用合金晶振片监视氟化镁,有效寿命比镀金的长100%。如果把冷却水的温度从20度提高到50度,晶振片的寿命更可以再延长一倍。

七﹑晶振片的安装及注意事项与技巧

    随着镀膜规格指标的需求日益严格,单靠光控已经难以达到要求,晶振控制成为镀膜必备的辅助或控制方法﹐如何正确有效地使用晶振片成为保证镀膜质量的重点。所以为了使晶振片寿命最长,下面一些方法和技巧供您参考:

1。总是用摄子来挟住晶振片的边缘,不要碰晶振片中心,因为晶振片振动的活跃中心,任何灰层,油污都会降低晶振片的振动能力。新的晶振片使用之前应在酒精(分析纯即可)中浸泡1分钟左右,之后用塑料镊子夹取并用无尘纸或洁净的绸布将酒精擦拭干净,同时用蘸有酒精的无尘纸或绸布将晶振座擦拭干净,组装晶振片之前用吹气球将晶振片、晶振座及探头的接触弹簧上可能残留的灰尘、纸屑等吹掉﹐晶振片装好后再一次用吹气球吹晶振片的表面,去除散落的灰尘。(有人建议用低压过滤的氮气或不含油的空气吹晶振片的表面,去除散落的灰尘﹐本人认为吹气球即可﹐方便经济又快捷。)切记不要用手指直接接触晶振片以免留下油渍。

2.保持晶振片的清洁。不要让镀膜材料的粉末接触晶振片的前后中心位置。任何晶体和夹具之间的颗粒或灰层将影响电子接触,而且会产生应力点,从而改变晶体振动的模式。

3.晶振座经过多次镀膜后其表面会沉积较厚的膜,如果不将其除去,由于离子轰击产生的反溅射会影响晶振片的测试精度。可以先用喷砂或用打砂纸方法将膜层除去,之后用酒精浸泡5分钟左右,如果能用超声波振荡清洗一下,效果会更好,最后再将其放入110℃烤箱中烘烤15分钟,即可使用。

4.保持足够的冷却水使晶振头温度在20-50度。 如果可以将温度误差保持在1-2度范围内,效果更佳。

 
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